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第一百七十九章 光刻机原型机测试(1/2)

作者:如鹰展翅
当然,对于芯片级的硅晶棒,大唐科技是不会放弃的,毕竟如果要生产芯片,特别是高性能的硅晶棒是必不可少的,所以大唐科技是一定要把生产硅晶棒或者说芯片级的高纯度硅晶的生产,掌握在自己的手中才行。

好在随着实验室中现在已经可以少量的制造高纯度的硅晶棒了,接下来所要做的就是如何大规模的生产芯片级的硅晶棒,而这个时间李毅相信也不会太长。

他相信,只要大唐科技把32纳米的芯片生产线建设起来,那到时硅晶棒的大规模生产技术也应该差不多了。

毕竟芯片生产线可不仅仅只有光刻机,除了光刻机之外,还有蚀刻机等一系列的设备,而这些设备都是需要大唐科技自己来研发的,虽然说这些设备是研发难度要比起光刻机要简单的多了,不过也是需要时间的。

当然,现在李毅并没有多管什么,因为现在摆在他面前最重要的事情,就是测试这款32纳米的光刻机是不是能够使用,性能怎么样,成品率如何。

所以随着大家准备完成,李毅也终于下令开始测试,只见一片十五寸的硅晶圆被放入了光刻机中,随后光刻机也开始工作,只见一束束紫色的光芒在设备内部闪烁着, 很快,这片硅晶圆就已经完成了光刻, 很明显此时光刻机对于这片硅晶圆的价格已经完成。

不过硅晶圆此时虽然已经加工完成, 然而, 此时这些硅晶圆还无法切割,也还不是芯片, 因为除了光刻这一道程序之外,还有其他的价格程序,所以此时这个硅晶圆还只是半成品而已。

当这片硅晶圆加工完成的时候, 马上就有研发人员,拿起硅晶圆来到了实验室的专门测试台,对硅晶圆进行检测。

很快检测的结果就出来了,在众人的期待中, 这位研究员激动的说道:“李总!还有各位,这片生产出来的硅晶圆内部光刻出来的精度完全在我们设计要求的范围之内,这也就是说我们的这台光刻机设计的非常成功,我们成功的制造出了一台32纳米的光刻机, 根据这台光刻机的性能来说说, 这台光刻机的精度无疑是现在世界上最高的,就算是岛国以及瑞国的最新型光刻机, 因为远远无法和我们这款光刻机相比。

根据光刻机的发展规律, 我们的这台光刻机的性能以及精度等, 绝对要领先国外同行五年以上。”

当这位研究员宣布了此次的测试结果时,所有人都激动得泪流满面了, 只有他们自己知道, 这一切来的是多么的不容易,多少个日日夜夜的研究, 为的就是能够尽快的研发出这款光刻机来,为此甚至有人直接晕倒在实验室中,就算是这样, 在研发这款光刻机的过程中, 他们也是走了无数的弯路,如果碰到了无数的技术难关, 如果不是有他们心目中的神, 也就是公司老板提供了大量的技术, 甚至亲自加入研究团队, 他们知道仅仅凭借他们自己的能力,就算是再给他们五年甚至更多的时间他们也不一定能够研发出这样的光刻机来。

而李毅在听了这位研究员的话后,也是异常的激动,但是他并没有被胜利冲昏头脑,而等到大家都平静了一会后,才开口说道。

“好了,大家先不要激动我们的测试还没有完成呢,虽然说我们已经确定了这台光刻机的精度以及性能,都在设计范围之内,但是我们还没有对这台光刻机的成品率进行一个综合测试呢,是不是能够达到我们设计时候百分之八十以上的水准,还有设备的可靠性等等,只有这些都达到我们的设计标准后,才算是成功。”

听了李毅的话,大家也都冷静了下来,正如他们的老板所说的那样,这台光刻机还有很多测试项目都还没有完成,虽然说在精度方面已经达到了设计要求,但是其他方面的性能也是非常重要的,因为如果在成品率方面无法达到设计要求,甚至不
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